一、核心参数

• 标称抽气量：10000 L/min（10m³/min）

• 极限真空：0.5Pa（干泵空载）

• 电源：三相 200～220V 50/60Hz

• 空载功耗：0.9～1.5kW，相比旧机型节能 25%~50%

• 泵结构：多级螺杆干式泵，无油无水、空冷，不用冷却水、无润滑油污染腔体

二、系列同型号对照（EV-X 全系）

三、产品特点

1. 小型紧凑：占地面积比同级干泵小约 30%，便于 Subfab 设备间紧凑布局

2. 耐水汽、耐微量腐蚀：可抽含水蒸气、轻微腐蚀性工艺气体，可选氮气吹扫防腐配置

3. 免日常换油：干式无油结构，维护成本低、寿命长、低噪音低震动

4. 单泵可直抽高真空：无需前级泵，独立满足中高真空制程

四、适用行业