Yamato雅马拓等离子干洗机PDC200
产品概述
等离子干洗机 (PDC200) 的特点
产品特性
该等离子体采用平行板电极结构，可提供的均匀性。
产品特性
配备零点稳定真空计。
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规格
| 产品代码 | 328210 |
|---|---|
| 模型 | PDC200 |
| 等离子模式 | RIE（DP模式选项） |
| 电极结构 | 平行板（固定在电极之间） |
| 高频输出 | 功率 300 瓦 |
| 振荡频率 | 13.56MHz晶体振荡器 |
| 控制和显示（仪器） | LCD触摸面板 |
| 舞台尺寸 | 宽度 250 x 深度 170 毫米 |
| 腔室材料 | 铝 |
| 反应气体 | 2 个系统（氩气，氧气） |
| 吹扫气体 | 氮气或干燥空气 |
| 反应气体流量控制 | 流量计 |
| 真空泵 | 请另行准备（详情请联系我们）。 |
| 气体入口 | 2 种反应性气体，1 股吹扫气 |
| 内部尺寸（宽 x 深 x 高） | 400×250×150毫米 |
| 外部尺寸（宽 x 深 x 高） | 540×600×600毫米 |
| 功率容量 | 单相交流100V 50/60HzV 10A 断路器容量和电源容量15A。不含电源插头。 |
| 重量 | 100公斤 |
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