OSAKA大阪真空涡轮分子泵 TG240F
TG240F 柔性位置涡轮分子泵的特点
高氢气压缩比
即使在高背压下也能连续运行，泵送性能稳定。
控制器集成型
360°全方位自由安装位置
抗震性能好，即使泵运行时也能移动。
半导体制造
电子枪排气，离子源排气
FPD制造
表面处理、表面改性
制造各种电子元件
分析和测试设备
管材制造、光学元件制造
加速器、辐射设施和核聚变研究
热处理
研究与开发
*排放腐蚀性气体时，请选择与化学品兼容的 TG-M 或 TG 系列。
| 控制器模型 | TC246 |
| 输入电压（ACV） | 100-230 (±10%) |
| 输入频率（赫兹） | 50/60 |
| 输入相位数 | 单相 |
| 最大功率需求（VA） | 170 |
| 输出频率（赫兹） | 800 |
| 质量（千克） | 2.4 |
| 标准配件 | 输入接口：1个； |
| 适用泵型号 | TG240F-20 |
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