ULVAC爱发科涡旋式干泵DIS-90
•双绕式涡旋泵、含1根轨道螺旋和2根固定螺旋。
•可在大气压下实现操作运行。
•可实现高极限真空。
•低振动低噪音。
•维护周期可通过计时表控制。
特点
结构紧凑，排气量大。
干式真空泵的最高压力水平。
内置自动复位型热保护器等安全设计。
通过空气冲洗抑制水分凝结。
用途
分析设备
气体回收系统
涂装设备
TMP的背泵
氦气检漏仪
半导体制造工艺
规格
| Unit50Hz60Hz设计排气速度度※1L/min90108极限压力Pa (kPa)5.0使用电动机※2 单相, 100/115/200/230V, 150W, 4P 电容器启动・運転全负荷电流A2.6/1.3/1.6(100/200/230V)2.1/2.2/1.1/1.1(100/115/200/230V)重量kg14.0吸气口径 KF-25排气口径 KF-16使用环境温度范围℃5～40水蒸气处理量g/day≦5 以下 （AF開時※3, 室温25℃, 湿度60％以下）噪音水平dB≦52 （AF開時※3, ≦57）最大尺寸mm214(W)×308(L)×225(H) |
※1：设计排气速度时当抽取大气压气体时实际排气速度的1.2倍。
※2：不包括电源插头和电源线。
※3：AF = Air Flash
空气冲洗操作不仅排出残留在泵中的水，而且还具有恢复极限力的效果。
※2：不包括电源插头和电源线。
※3：AF = Air Flash
空气冲洗操作不仅排出残留在泵中的水，而且还具有恢复极限力的效果。
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