一、型号定义
100：额定抽速10000L/min（600m³/h）
N：过流腔体镍合金防腐 + 标配内置 N₂氮气吹扫（P = 普通材质 + 氮吹；裸 S 无氮吹、普通铸铁），适配含酸碱 / 卤素腐蚀性工艺废气
二、核心技术参数
表格
| 项目 | EV-S100N 参数 |
|---|---|
| 标称抽速 | 10000 L/min（166.7L/s）50/60Hz 性能一致 |
| 极限真空 | ≤0.5Pa（空载） |
| 电机功率 | 约 4.5kW 直流变频马达，节能怠速模式 |
| 冷却 | 水冷，冷却水流量 3.5~5L/min，进水＜30℃ |
| 接口 | 进气 NW80，排气 NW50 |
| 整机重量 | 120kg |
| 电源 | 三相 200/220V |
| 噪音 | 约 62dB (A) |
| 氮吹配置 | 自带多路氮气进气，标准吹扫流量 30~55L/min 可调 |
三、产品亮点
全防腐 N 配置：转子 + 腔体镍镀层，半导体蚀刻、CVD 腐蚀性气体专用，防氟化氢、氯化氢腐蚀
变频节能：负载自适应调速、待机休眠，空载功耗大幅下降
智能电控：自带 LCD 面板、故障代码存储、温度 / 震动 / 氮气压力全报警，支持 RS485 通讯上产线 PLC
合规认证：SEMI‑S2、CE、NRTL，晶圆厂原厂标配规格
四、适用工况
半导体 Loadlock 预抽、干法蚀刻、PVD/CVD 镀膜、LED / 光伏镀膜、光学镀膜、腐蚀性化工真空脱泡、科研高真空腔体。
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